| 研究課題/領域番号 |
26289276
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
八重 真治 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (00239716)
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| 研究分担者 |
福室 直樹 兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 (10347528)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | 材料加工・処理 / めっき / 廃棄物再資源化 / 太陽電池 / 表面状態評価 / 接合信頼性 / 核形成 / シリコンカーバイド |
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| 研究実績の概要 |
貴金属ナノ粒子のシリコンへの無電解置換析出は、金属イオンを含むフッ化水素酸にシリコンウェーハを浸すだけの簡単なプロセスで、金属微粒子援用エッチングによる太陽電池の無反射化やシリコンナノワイヤー製造に利用されている。研究代表者らは、貴金属ナノ粒子析出初期過程の解明を目的とした基礎研究と、太陽電池の無反射化、太陽光水素製造、シリコン上への信頼性の高い金属薄膜および配線の形成、廃棄物からの貴金属回収などを目的とした応用研究を行ってきた。本研究では、基礎研究の深化と応用研究の進展により、析出機構の詳細を解明し、半導体産業の製造時の廃棄物を利用して貴金属を回収するリサイクルプロセス、シリコンデバイスの電極形成の省エネルギー省資源化、高効率低コストなシリコン太陽電池の製造を図り、本技術をグリーンサステイナブルに展開することを目的とする。
最終年度の本年度は、これまでの成果をふまえて、シリコンの金属援用エッチングの展開、高信頼性無電解めっき膜のシリコン上への直接形成における界面構造の解明と実用プロセスへの展開、貴金属回収プロセスの実用化に向けた課題解決に取り組み、本技術のグリーンサステイナブルな展開の実現を図った。
金属援用エッチングでは、触媒に用いる貴金属の種類によって、同じ薬液を用いても得られる微細構造が大きく変化することを明らかにした。特に、メソポーラス層形成とその溶解について新たな知見を得た。高信頼性無電解めっき膜のシリコン上への直接形成では、めっき膜形成後のエージングと合金形成およびめっき膜密着性向上の関係性を明らかにした。東京電機大学向山教授へ平滑なシリコン基板に均一な金めっき膜を形成した試料を提供し、電気化学非線形現象に関する共同研究を推進した。貴金属回収プロセスでは、実用上の課題であるフッ化水素酸使用を必要としないプロセスの開発を行い、塩基性水溶液の有効性を確認した。
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| 現在までの達成度 (段落) |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 次年度使用額の使用計画 |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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