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2015 年度 実施状況報告書

シリコン貫通ビアを用いた三次元集積回路の物理配線設計に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 26330057
研究機関弘前大学

研究代表者

黒川 敦  弘前大学, 理工学研究科, 教授 (80610592)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード三次元集積回路 / 貫通シリコンビア / クロック分配 / 電源分配 / 熱解析
研究実績の概要

平成27年度は、三次元集積回路の設計技術の研究・開発として、1)積層配線間の高速容量抽出、2)積層信号の遅延とクロストークノイズのモデリング、3)クロック分配方法、4)電源分配方法、5)熱解析について実施した。成果の概要は次の通りである。1)インダクタンス逆行列からTSV間容量を高速に抽出するための最適な行列サイズを提案した。電気学会東北支部優秀論文賞を受賞した。2)貫通シリコンビアを用いた三次元集積回路における基板コンタクト無し、細粒度基板コンタクト有り、粗粒度基板コンタクト有りの場合の伝搬遅延とクロストークノイズの式を提案した。さらに、複数規則的配置における基板コンタクト無し、細粒度基板コンタクト有り、粗粒度基板コンタクト有りの場合の容量式、及びコネクタ間の容量式も提案した。3)積層チップのクロック分配ネットワークとして、複数のソースバッファを用いたクロック分配方法を提示した。この方法の利点はクロックソース以外のチップは現在最も良く使われているバッファ付きクロックツリー合成のようなシングルチップ設計と同じ方法で、積層チップのクロック分配網を設計できることである。4)三次元集積回路の電源ノイズ解析用の回路モデルを提示し、構造や電気的パラメータの変化に対する電源電圧降下の解析結果、及び最適な電源用TSVの間隔を提示した。5)熱伝導解析ソフトを用いて、積層数やチップサイズ、消費電力、各材質の厚みや熱伝導率、ヒートシンク等様々な条件におけるチップの最高温度の違いについて明らかにした。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

研究計画では、平成27年度はクロックスキューを削減するクロック分配、及び電源分配に関する技術の開発である。クロック分配については積層チップ向けの新たな手法を提案することができた。電源分配については設計初期段階の高速解析方法を提案することができた。しかし電源分配についてはまだより精度の高いモデル化が必要であり、平成28年度に継続して研究する。また、平成28年度に予定していた高速寄生抽出方法と熱解析関連は既に研究を開始しており、成果を学会にて発表している。
全体として、ほぼ計画通りに進捗している。

今後の研究の推進方策

平成27年度までに、三次元集積回路の電源電圧降下や熱解析を実施した。しかし、電源分配のモデル化が不十分であり、精度を上げるためにインピーダンスとして近い等価回路が得られるモデルの開発に取り組む。また、熱解析により得られた知見に基づいて、熱回避のための対策技術の開発に取り組む。
最終年度として、熱対策や電源電圧解析等に関する研究成果の公表、及び本研究を遂行することによって、三次元集積回路の設計で新たにわかった課題の整理と解決策の検討も実施する予定である。

次年度使用額が生じた理由

研究成果の発表として、学会への出張費として使用予定であったが、端数が生じたため。

次年度使用額の使用計画

研究成果の発表として、学会への出張旅費に充てる計画である。

  • 研究成果

    (9件)

すべて 2016 2015

すべて 雑誌論文 (1件) (うち国際共著 1件、 査読あり 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Signal propagation delay model in vertically stacked chips2015

    • 著者名/発表者名
      Nanako Niioka, Masayuki Watanabe, Masaaki Fukase, Masashi Imai, and Atsushi Kurokawa
    • 雑誌名

      IEICE Trans. Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences

      巻: E98-A ページ: 2614, 2624

    • DOI

      10.1587/transfun.E98.A.2614

    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 三次元集積回路の熱解析2016

    • 著者名/発表者名
      古見薫, 今井雅, 新岡七奈子, 黒川敦
    • 学会等名
      電子情報通信学会 VLSI設計技術研究会
    • 発表場所
      青森県弘前市(弘前市立観光館)
    • 年月日
      2016-06-16 – 2016-06-17
  • [学会発表] マルチソースバッファを用いた積層チップのクロック分配方法2016

    • 著者名/発表者名
      新岡七奈子, 今井雅, 古見薫, 黒川敦
    • 学会等名
      電子情報通信学会 VLSI設計技術研究会
    • 発表場所
      青森県弘前市(弘前市立観光館)
    • 年月日
      2016-06-16 – 2016-06-17
  • [学会発表] 積層チップの電源分配のモデリングと電圧降下の解析2016

    • 著者名/発表者名
      古見薫, 深瀬政秋, 新岡七奈子, 黒川敦
    • 学会等名
      電子情報通信学会 総合大会
    • 発表場所
      福岡県福岡市(九州大学 伊都キャンパス)
    • 年月日
      2016-03-16 – 2016-03-16
  • [学会発表] TSVベース3D-ICの垂直方向配線間結合容量の効率的な抽出方法2016

    • 著者名/発表者名
      小林徹哉, 新岡七奈子, 古見薫, 黒川敦
    • 学会等名
      情報処理学会 東北支部研究会
    • 発表場所
      青森県弘前市(弘前大学)
    • 年月日
      2016-02-19 – 2016-02-19
  • [学会発表] 3次元積層チップの熱解析と温度上昇抑制方法2016

    • 著者名/発表者名
      古見薫, 新岡七奈子, 黒川敦
    • 学会等名
      情報処理学会 東北支部研究会
    • 発表場所
      青森県弘前市(弘前大学)
    • 年月日
      2016-02-19 – 2016-02-19
  • [学会発表] Clock skew reduction for stacked chips using multiple source buffers2015

    • 著者名/発表者名
      Nanako Niioka, Masashi Imai, Masa-aki Fukase, Yuuki Miura, Kaoru Furumi, and Atsushi Kurokawa
    • 学会等名
      IEEE International Symposium on Communications and Information Technologies (ISCIT)
    • 発表場所
      奈良県奈良市(奈良県新公会堂)
    • 年月日
      2015-10-09 – 2015-10-09
    • 国際学会
  • [学会発表] Thermal analysis with varying physical parameters in 3D ICs2015

    • 著者名/発表者名
      Kaoru Furumi, Masa-aki Fukase, Masashi Imai, Yuuki Miura, Nanako Niioka, and Atsushi Kurokawa
    • 学会等名
      電気学会 電子・情報・システム部門大会
    • 発表場所
      長崎県長崎市(長崎大学)
    • 年月日
      2015-08-26 – 2015-08-26
  • [学会発表] 三次元集積回路の伝搬遅延とクロストークノイズのモデリング2015

    • 著者名/発表者名
      新岡七奈子, 深瀬政秋, 今井雅, 古見薫, 三浦祐輝, 黒川敦
    • 学会等名
      電子情報通信学会 回路とシステムワークショップ
    • 発表場所
      兵庫県淡路市(淡路夢舞台国際会議場)
    • 年月日
      2015-08-03 – 2015-08-03

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公開日: 2017-01-06  

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