半導体工学を理論と実践の両面から理解することに役立てられるように,簡略化した工程を使って,集積回路を構成する重要な半導体デバイスであるMOS電界効果トランジスタ(MOSFET)を作製する実験教材の開発に取り組んだ.その結果,n型不純物拡散層及びアルミニウム(Al)電極を簡略化した工程で形成することによって,比較的容易にMOSFETが作製できる実験教材が構築できた.この実験教材は,MOSFET及び集積回路の作製に必要な作製工程が全て含まれており,半導体工学を技術的及び物理的に理解することに繋がる効果的な実験教材になると思われる.
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