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原子レベルで構造を同定し，さらに含有元素やその電子状態を詳細に知ることのできる走査透過型電子顕微鏡(STEM)と電子線エネルギー損失分光法(EELS)を組み合わせた分析手法は，物質の構造と機能とを正しく理解するうえで非常に重要な役割を果たす．本研究提案では，損傷を受けやすい物質にも本手法を適用できるように拡張することを目的として，超高速，高感度，ダメージレスな原子レベルの分析手法の開発を目指した．そこで(1)画像およびスペクトル取得技術の開発，(2)原子ラベリング法の開発，(3)温度やエネルギーなど外的変化の影響，(4).超薄膜，真空への試料固定，などのテーマに対し，系統立てて研究を行った．
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