研究課題
基盤研究(C)
自動車等に多く使われているシリコン半導体センサを製造するために，高温で高濃度のアルカリ水溶液を使ったエッチング加工が使われている．我々は今後の環境にやさしい加工方法を構築するために，非常に薄い濃度でのエッチングが可能かを検討した．従来は濃度が薄くなると加工面が粗くなり，使用できないといわれていたが，今回，エアーバブリングを行う，また界面活性剤をエッチング液中に添加することで，平滑なエッチングが可能なことを明らかにした．今後は，エッチング速度と平滑さの両立が図れる方法の検討を進めて行く．
加工学
