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次世代電池としての利用が期待される全固体電池の特性向上を目的として、金属酸化物薄膜などによる正極材料の表面修飾が提案されている。正極材料表面のナノ組織が電気化学特性に与える影響を明らかにするためにはその詳細な構造情報の取得が必要不可欠である。本研究では、電子線イメージングと電子回折強度の定量解析を併用したナノ構造解析技術を用いて、正極材料表面への被覆材としての利用が期待されるLi-Ti-P-O系アモルファス薄膜のナノ構造ならびに熱的安定性について調べた。その結果、熱処理に伴い、中範囲規則領域の発達に起因する局所構造変化が生じることを見出した。
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