| 研究課題/領域番号 |
26390065
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
柚原 淳司 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (10273294)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| キーワード | 合金ナノ粒子 / ナノメッシュ |
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| 研究実績の概要 |
従来のトップダウン加工技術であるリソグラフィー技術は、微細加工精度の限界が近づいている。一方で、リソグラフィー技術による微細加工は、大量生産に対して大きな課題がある。それゆえ、近年、ボトムアップ法による新しい加工技術が注目されている。固体表面上における結晶成長の制御は、大きさの制御が可能になりつつあるため注目されているが、ナノ粒子の空間配列制御は難しい課題として残されている。最近、固体表面上のナノメッシュ構造をテンプレートとして利用することにより、大きさのそろった金属ナノ粒子を高密度で規則的に創製できることがわかってきた。
平成２７年度は、Pd(111)表面上に作製した酸化バナジウムナノメッシュにパラジウム、ルテニウム、金、銀、銅、ニッケル，白金の７種類の金属を蒸着した。現在、どのような合金ナノ粒子が形成可能であるか調べているところである。蒸着初期においても、銅やニッケルはナノメッシュエッジにてクラスターを形成し、ナノドット内へ収まることはなかった。金、銀、白金、パラジウム、ビスマスは、逆にナノメッシュエッジに吸着してクラスターを形成することなく、ナノドット内におさまり、ナノドットのみを形成した。なお、金原子が隣接するナノドットに浸入すると酸化バナジウムナノメッシュが破壊することが判明した。実験は、おおむね順調であり、今後は成果発表も随時行っていく予定である。本研究課題と深く関連し、平行して取り組んでいる酸化亜鉛超薄膜および酸化セリウム超薄膜の作製と構造解析の研究において、投稿論文が二報受理されている。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
3: やや遅れている
理由
Pd(111)表面上に作製する酸化バナジウムナノメッシュが一時期再現性良く作製されなくなり、時間を要した。原因は、真空チェンバーの真空度の質がポンプ性能の劣化により、以前より悪くなったためであることが判明した。これに伴い、酸化バナジウムナノメッシュが水分あるいは水素分子に対して、化学的に安定ではないことが明らかとなった。今後は、真空度をより良い条件で実験を行うとともに、新たなナノメッシュの開発にも取り組む。
本研究課題と深く関連し、平行して取り組んでいる酸化亜鉛超薄膜および酸化セリウム超薄膜の作製の研究も順調に進んでいる。
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| 今後の研究の推進方策 |
酸化バナジウムナノメッシュの作製、合金ナノ粒子の創製、分析と一連の実験を、真空度をより良い条件で実験を行うとともに、新たなナノメッシュの開発にも取り組む。
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