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St707合金ピル60個をヒーター周りに放射状に配列したピル積層型NEGポンプを開発し、排気速度を測定した結果、H2、N2、CO、CO2に対して130-110、35-15、170-1120、200-80 L/sという値を得た。この性能は市販のNEGポンプと比較しても遜色ない。さらに、ステンレス表面に清浄なチタン（Ti）を真空蒸着し、さらに清浄なパラジウム（Pd）を真空蒸着すると、最高温度185℃、6時間の活性化により、Pd/Ti薄膜が真空排気作用を示すこと、大気導入と活性化を繰り返しても真空排気機能が保たれることを見出した。本Pd/Ti薄膜は新しいNEGポンプとして幅広い応用が期待される。
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