本研究の目的は、酸化亜鉛(ZnO)ナノロッドを、ロッドどうしが交差した”X字状“になるように成長させ、X字状ナノロッドを電極で挟み込んで、フォース印加に対してピエゾ抵抗の変化を持って高感度に応答するフォースセンサーの創成にある。そのためには、ZnOナノロッドX字状成長メカニズム解明とその条件最適化、ナノロッド両端を挟み込む電極の形成技術の確立にある。 本研究で得られた主要な成果は、1)室温での配向性ZnOナノロッドの水熱合成、2)X字状ナノロッドのフォースセンシングの高感度性の実証、3)ZnOナノロッドが直接成長するグラフェン作製の熱CVD条件を確認できたことにある。
|