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2016 年度 研究成果報告書

成長様式を制御したZnOナノロッドから創る高感度ピエゾセンサーに関する研究

研究課題

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研究課題/領域番号 26390102
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 応用物理学一般
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

市川 洋  名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10314072)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワードZnOナノロッド / ピエゾ効果 / フォースセンサー
研究成果の概要

本研究の目的は、酸化亜鉛(ZnO)ナノロッドを、ロッドどうしが交差した”X字状“になるように成長させ、X字状ナノロッドを電極で挟み込んで、フォース印加に対してピエゾ抵抗の変化を持って高感度に応答するフォースセンサーの創成にある。そのためには、ZnOナノロッドX字状成長メカニズム解明とその条件最適化、ナノロッド両端を挟み込む電極の形成技術の確立にある。
本研究で得られた主要な成果は、1)室温での配向性ZnOナノロッドの水熱合成、2)X字状ナノロッドのフォースセンシングの高感度性の実証、3)ZnOナノロッドが直接成長するグラフェン作製の熱CVD条件を確認できたことにある。

自由記述の分野

機能性材料の薄膜化・ナノ構造化

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公開日: 2018-03-22  

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