研究課題
本年度は、Al2O3、SrTiO3結晶基板及びシリカグラスの上にパルスレーザー蒸着（pulsed laser deposition、PLD）を用いてにより熱電薄膜モジュールの作製しました。熱電薄膜モジュールはn型（Al0.02Zn0.98O）の5脚及びp型（Ca3Co4O9）の5脚を含みました。p-型Ca3Co4O9薄膜について実験条件の確立完全にされていました。両帆n型とp型薄膜脚中にナノ粒子を入りませんでした。温度勾配の為に垂直に設定モジュールをされて、アドホックカスタマイズシステムを用いてモジュールの性能を行いました。 温度差は230度（高温は300度）によって、Al2O3単結晶基板上に最大出力電力（Pmax）＝29.9pWを得られました。温度差の増加に伴って最大出力電力の値が大きくなります。初めて酸化物薄膜系モジュール出来ましたので、熱電酸化物薄膜の実用化のためにその結果は奨励です。
3: やや遅れている
当初の２７年度の計画で、様々基盤の上にPLD(パルスレーザー蒸着)法及びMOD(有機金属酸塩塗布)を用いてnー型AZOとp-型Ca3Co4O9ナノ欠陥導入単層薄膜の成膜は予定だった。しかし、実用的なデモのために、熱電薄膜モジュールの作製の優先決めました。
２８年度の計画① PLD(パルスレーザー蒸着)法を用いてn-型AZO及びp-型Ca3Co4O9ナノ欠陥導入薄膜（Al2O3結晶基板、シリカグラス及びポリイミドの上に）の創製及び特性評価。② MOD(有機金属酸塩塗布)法を用いてナノ欠陥導入n-型AZO層薄膜とp-型Ca3Co4O9層薄膜（Al2O3結晶基板、シリカグラス及びポリイミドの上に）の創製及び特性評価。③ nー型AZOとp-型Ca3Co4O9ナノ欠陥導入熱電薄膜モジュールの創製及び特性評価（Al2O3結晶基板、シリカグラス及びポリイミドの上に）
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