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酸化物薄膜の熱電材料（TE）効率を調査したところ、非常に有望な結果が得られた。例えば、PLD法により加工されるn型Al-ドープZnO（AZO）薄膜は、300Kにおいてk=4.89W/m×K（バルクAZOの1/7、600KにおいてZT=0.045（バルクAZOに対して3倍大きい）であった。それから、Al2O3、STO結晶基板及びシリカグラスの上にPLDを用いて熱電薄膜モジュールを作製した。熱電薄膜モジュールはn型（AZO）の5脚及びp型（Ca3Co4O9）の5脚から構戊された。 温度差230度（高温は300度）において、Al2O3単結晶基板上に最大出力電力（Pmax）＝29.9pWを得られた。
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