| 研究課題/領域番号 |
26390124
|
|---|
| 研究機関 | 公益財団法人高輝度光科学研究センター |
|---|
研究代表者 |
増永 啓康 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 研究員 (50398468)
|
|---|
| 研究分担者 |
山崎 裕史 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 光源・光学系部門, 副主幹研究員 (60416386)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
|
| キーワード | 小角X線散乱 / マイクロビーム / Si単結晶 / 寄生散乱 |
|---|
| 研究実績の概要 |
27年度は小角X線散乱法を用いて数μmの微小領域における数百nmの構造を観測する手法・装置を開発した。φ数μmのX線は微小ピンホールを光軸に挿入することにより生成し、小角散乱測定に要求される寄生散乱の除去は、結晶コリメート型寄生散乱除去装置を開発することで対応した。開発した装置を用いて実証実験を行い、それに成功したので詳細を下記に示す。
直径8μmのピンホールを用いてX線を成形し、試料位置で5.0 x 6.9 μm xμm (V x H, FWHM)の光を得た。X線の波長は0.1 nmである。水平方向及び垂直方向に二組のSi単結晶を有するコリメート装置をピンホールの直下流に設置した。コリメートシステムを用いてピンホールエッジから発せられる寄生散乱除去を試みた。Si(111)結晶の回折幅は20μrad程度であるため、光軸に対して20μrad以上異なる角度の寄生散乱はSi結晶により除去される。結晶を水平と垂直方向に配置することで、全方位の寄生散乱を除去することに成功した。ピンホールの直下にスリットを配置する方法では、寄生散乱の除去を行うことが不可能であるが、この手法を用いることで極小角領域の寄生散乱除去も可能となった。300 nm周期の回折格子及び空気散乱測定を行った結果、300 nmの空間分解能があり散乱測定を阻害する寄生散乱を除去できていることが確認できた。
|
| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
研究計画通り、27年度中にマイクロビーム極小角散乱測定装置構築及び検証を実施が出来ており、計画は順調に進んでいる。
|
| 今後の研究の推進方策 |
マイクロビーム極小角散乱測定システムについて成果報告を行うとともに、このシステムを用いて、繊維試料の紡糸過程におけるボイド生成過程を追跡する研究を共同研究者と推進する。
|
| 次年度使用額が生じた理由 |
成果報告の回数が少なかったために、次年度使用額が生じた。
|
| 次年度使用額の使用計画 |
成果報告を行うために使用する。
|
