|
様々な機能性薄膜の製膜技術の発展により，極表面層の評価が課題として挙げられている．表面層を評価する手法の一つにラマン散乱分光法がある．ラマン散乱分光法は，非破壊，非接触で測定可能という利点を有し，分子構造や化学結合など物質の同定が可能であるが，励起光に対して透明な試料では，励起光が試料内部まで侵入してしまうことから，表面層のラマン散乱光のみを取得することが困難という課題がある．本研究は，複数の回転楕円鏡からなる入射・集光光学系によるラマン散乱分光システムの構築を行った．光学系の検証のため，ダイヤモンド等のスペクトルが既知の試料について測定し，それらスペクトルを明確に観測することができた．
|
