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2014 年度 実施状況報告書

次世代マイクロ・ナノ加工を実現するための剛性可変型エアタービンスピンドルの開発

研究課題

研究課題/領域番号 26420092
研究機関福岡工業大学

研究代表者

加藤 友規  福岡工業大学, 工学部, 准教授 (20390429)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード機械要素 / マイクロナノ加工 / 静圧空気軸受 / 超精密加工 / 油空圧機器
研究実績の概要

本研究は超精密切削・研削加工に用いられる静圧空気軸受エアタービンスピンドルの回転数と剛性の制御に関するものである.加工形状の複雑化・微細化にともない,小径エンドミルによる高回転高送りミーリングが行われている.それに伴い,さらなる高回転化が可能なエアタービンスピンドルが期待されている.その反面,トルクが小さく切削抵抗により回転数が変動・減少し,加工精度や工具摩耗を劣化させることが懸念されている.これに対し先行研究では,超精密高速応答圧力レギュレータ(HPQR)によるエアタービンスピンドルの回転数制御加工を行い,回転数減少の抑制効果があることを確認している. これに基づき今年度の研究では,回転数変動による工具摩耗への影響および,摩耗量推定の可能性について実験・検討を行い,以下のような結論を得た.
(1) Semi-Dry 加工により安定的な工具摩耗を実現した. (2) 安定した工具摩耗進行状態では回転数変動による工具摩耗進行の差はない. (3) 供給圧から加工中の工具摩耗量を推定できる可能性が高い. (4) 回転数を制御することにより,エアタービンスピンドルを用いて粗加工,仕上げ加工のどちらにも対応できる可能性がある. (5) 回転数の制御を行い,加工時の回転数が安定しただけでなく,回転数が安定するま  での待ち時間が減少し,省エネルギー化が実現可能である.
なお,エアタービンの静圧空気軸受のスラスト・ラジアルのそれぞれの方向の剛性を加工中に制御することを目的に,スラスト・ラジアルのそれぞれの軸受の供給空気を独立して管理可能なエアタービンスピンドルを設計・製作し,基礎的な特性を測定した.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

まず,予算は計画通り執行した.研究内容としては,本研究の当初の計画のうち,平成26年度の計画であった,
1.静圧エアスピンドルへの供給圧制御系の構築
2.供給圧が高速・精密に可変であることを前提とした静圧スピンドルの設計と性能試験
を概ね実施することができ,当初計画では平成27年度の計画であった
3.切削加工実験と評価(高剛性化の評価)
についても,一部を実施することができた.

今後の研究の推進方策

平成26年度に新規に設計製作した静圧空気軸受エアタービンスピンドルについて,計画では「心振れは,非接触変位計と加速度センサを用いて,SPAM法(Single Point Asynchronous error Motion)により測定し,心振れが5nm以内に入るように調整」することとなっているが,この部分の調整が継続課題として残っており,平成27年度に早急に実施する予定である.
「切削加工実験と評価(高剛性化の評価)」および「NPD工具ツルーイング研削加工と工具形状の評価(低剛性化の評価)」については,本学の次世代マイクロナノ金型開発センター・長崎大学矢澤研究室・東芝機械株式会社などからご協力を得ながら,平成27年度中に順次進めていく計画である.

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2014 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (7件) (うち招待講演 1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Rotation Control of Air Turbine Spindle using High Precision, Quick Response Pneumatic Pressure Regulator2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori KATO, Genki HIGASHIJIMA, Takanori YAZAWA, Tatsuki OTUBO, Yusuke NOZAKI, Katsutoshi TANAKA
    • 雑誌名

      JFPS International Journal of Fluid Power System

      巻: Vol.7, No.1 ページ: 9,15

    • DOI

      http://doi.org/10.5739/jfpsij.7.9

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Generation of Arbitrary Pressure Pulsation of Wide Frequency Range for Flow Meter Testing in a Laminar Gas Pipeline2014

    • 著者名/発表者名
      Mitsuhiro Nakao, Tomonori Kato, Takashi Oowaku, Hirohisa Sakuma, Toshiharu Kagawa
    • 雑誌名

      Journal of Flow Control, Measurement & Visualization

      巻: 2 ページ: 125,137

    • DOI

      10.4236/jfcmv.2014.24015

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Development of a miniature rubber muscle driven by gas-liquid phase-change2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Kato, Mingzhao Cheng, Shunta Honda, Toshiki Ogasawara, Manabu Ono
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Fluid Power (JFPS2014)
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江市)
    • 年月日
      2014-10-31
  • [学会発表] FEED-FORWARD CONTROL OF AN ARBITRARY PRESSURE PULSATION GENERATOR AND ITS APPLICATION TO TESTING AN ORIFICE-TYPE FLOW METER2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Kato, Tetsuma Hirakawa, Mitsuhiro Nakao, Takashi Oowaku, Hirohisa Sakuma, Toshiharu Kagawa
    • 学会等名
      ASME/BATH 2014 Symposium on Fluid Power and Motion Control
    • 発表場所
      Bath大学(英国)
    • 年月日
      2014-09-11
  • [学会発表] Research on Pneumatics in Kato Laboratory, Fukuoka Institute of Technology2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori KATO
    • 学会等名
      The 3rd China-Japan Joint Workshop on Fluid Power
    • 発表場所
      太原市(中国)
    • 年月日
      2014-08-15
    • 招待講演
  • [学会発表] INTRODUCTON OF A NEWLY DEVELOPED AIR TURBINE SPINDLE WITH ROTATION CONTROL SYSTEM FOR ULTRA-PRECISION MACHINING2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori KATO
    • 学会等名
      中国機械工程学会第8回全国流体伝動与控制分会
    • 発表場所
      太原市(中国)
    • 年月日
      2014-08-13
  • [学会発表] Investigation of pressure control in balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori KATO, Tetsuma HIRAKAWA, Shunta HONDA, Hiromi MASUDA
    • 学会等名
      The 12th International Conference on Motion and Vibration Control (MoViC2014)
    • 発表場所
      札幌コンベンションセンター(札幌市)
    • 年月日
      2014-08-04
  • [学会発表] 気液相変化により駆動されるゴム人工筋アクチュエータの製作2014

    • 著者名/発表者名
      本多駿太,加藤友規,程明昭,小笠原利樹,大野学
    • 学会等名
      平成26年度春季フルードパワーシステム講演会
    • 発表場所
      機械振興会館(東京都港区)
    • 年月日
      2014-05-29
  • [学会発表] Pressure control in balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning stage2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori KATO, Tetsuma HIRAKAWA, Hiromi MASUDA
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Positioning Technology (ICPT2014)
    • 発表場所
      北九州国際会議場
    • 年月日
      2014-04-19
  • [備考] 福岡工業大学研究者情報

    • URL

      http://www.fit.ac.jp/research/search/profile/id/147

URL: 

公開日: 2016-05-27  

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