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2016 年度 研究成果報告書

高品位結晶育成のための融液流動制御と流れの直接測定

研究課題

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研究課題/領域番号 26420151
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 熱工学
研究機関大分大学

研究代表者

岩本 光生  大分大学, 工学部, 准教授 (80232718)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード対流伝熱 / チョクラルスキー法 / 液体金属 / 回転磁場 / 電流-磁場印加 / 超音波ドップラー法 / 数値シミュレーション
研究成果の概要

チョクラルスキー法で作成する半導体用シリコン単結晶の高品位化を目的とし、ルツボ内の導電性融液の流れを精密に制御するため、回転磁場印加や、垂直磁場印加下で融液に電流をながす電流-磁場印加による流れの制御効果について、モデル実験と数値解析により検討を行った。この結果従来の静磁場印加に対し、回転磁場による磁束密度や磁場回転数の変化は、電流-磁場印加での場磁束密度や印加電流の変化は、数mT~数十mTの弱い磁束密度でも、結晶回転方向の流れを逆転できる強い流れの制御効果があり、またこれによる周方向流れにより、軸方向流れの制御も可能なことがわかった。

自由記述の分野

熱工学

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公開日: 2018-03-22  

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