PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)薄膜と電極薄膜をシリコン基板上において交互に超多層積層させ、MEMS(微小電気機械システム)プロセス技術と組み合わせることによって、ハイスループット・高機能なアクチュエータを創出することを目的とした。成膜最適条件を見出し、良好な特性の4層以上の積層構造が得られることが確認できた。一方、応用デバイスについても検討を行い、例として積層PZT薄膜による超音波トランスデューサが、低電圧で強い超音波を送信可能であることを確認した。さらに、人に触覚刺激を与える触覚デバイスが圧電MEMSで実現可能であることを示した。
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