研究課題
基盤研究(C)
インチワーム型精密位置決め装置の最適化を試みた。負荷の増加に伴って変位が減少することを明らかにした。摩擦の影響を除去するために浮上によって非接触状態を発生する移動機構を開発した。位置決め性能を高めるためのフィードバックシステムを構成した。圧電素子を用いたパラレルメカニズムの機構に,インチワームの機能を追加し,位置3自由度,姿勢3自由度の位置決めが可能なインチワーム型位置決め装置を実現できた。
メカトロニクス