2016 年度研究成果報告書

誘電体薄膜材料のミリ波複素誘電率評価手法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	26420266
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	基金
応募区分	一般
研究分野	電子・電気材料工学
研究機関	宇都宮大学
研究代表者	古神義則宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10260473)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード	誘電体薄型試料 / 誘電率計測 / ミリ波
研究成果の概要	薄型誘電体基板材料のミリ波帯における複素誘電率を評価できる測定技術を開発した。空洞共振器内の試料位置を変化させながら取得する複数の共振特性測定結果から、薄型誘電体試料の複素誘電率と空洞共振器の寸法、実効導電率を同時に取得する方法を考案し、測定用共振器の共振電磁界の計算を行った。実験用装置を試作し、提案手法の妥当性を確認するための評価実験を行った。
自由記述の分野	マイクロ波・ミリ波工学