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2016 年度 研究成果報告書

高音速薄膜装荷による縦波型リーキー弾性表面波の低損失化と高周波フィルタへの応用

研究課題

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研究課題/領域番号 26420269
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関山梨大学

研究代表者

垣尾 省司  山梨大学, 総合研究部, 教授 (70242617)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード弾性表面波 / LiNbO3 / ScAlN薄膜 / 低損失フィルタ / 異種材料接合
研究成果の概要

次世代移動体通信システムへの進化,実現に向けて,LiNbO3等の圧電性基板を利用した弾性表面波フィルタの高周波化が強く要請されている.縦波型リーキーSAW(LLSAW)は,通常のSAWと比べて1.5~2倍の位相速度を持つため,弾性表面波フィルタの高周波化に有利であるが非常に大きな伝搬損失を有する.本研究では,LiNbO3基板上に高音速なScAlN薄膜を装荷すると縦波型リーキー弾性表面波のバルク波放射に起因する損失が低減することを実験的に明らかにした.また,1波長以下の厚みをもつ圧電薄板と高音速な支持基板を接合するとLLSAWの結合係数が2~3倍に増加することを理論的,実験的に明らかにした.

自由記述の分野

通信工学,超音波エレクトロニクス

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公開日: 2018-03-22  

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