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2016 年度 研究成果報告書

窒化物半導体の金属-半導体界面と水素との相互作用機構の研究

研究課題

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研究課題/領域番号 26420286
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

色川 芳宏  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点 電気・電子機能分野 ワイドバンドギャップ材料グループ, 主任研究員 (90394832)

連携研究者 中野 由崇  中部大学, 工学部電子情報工学科, 教授 (60394722)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード水素 / 窒化物半導体 / 界面
研究成果の概要

近年、再生可能エネルギーからのエネルギーキャリアとして水素が注目されているが、水素は無色・無臭の上、大気中で燃焼・爆発しやすい性質を持つために取り扱いには注意を要する。そのため、安全性の観点から、水素を計測する技術は今後の水素社会において重要な位置を占め、多様な仕様の水素センサが要求されている。その中で、半導体デバイスを用いる方式に関して、従来提案されている界面ダイポールモデルに代わり、水素による絶縁膜の物性変化が本質的であることを、実験。理論の両面から示した。

自由記述の分野

半導体光学

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公開日: 2018-03-22  

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