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放射光Ｘ線を100 nm程度に集光して用いる構造評価法では、試料上の各点でＸ線回折を測定し、それを実空間でマッピングすることが求められている。測定の空間分解能を上げるには、試料を回転しても試料上でＸ線の照射位置がずれないようにしなければならない。そのためには、試料の表面を回転ステージの回転中心に精度良く合わせる必要がある。
本研究では、試料表面の形状を問わずに、試料上の任意の位置を回転ステージの回転中心に自動で精度良く合わせる技術を開発し、ナノビームＸ線回折を広い実空間スケールでマッピングすることを実現した。
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