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2016 年度 研究成果報告書

生産性と光学特性に秀でたチューナブル波長選択フィルタチップの継続開発

研究課題

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研究課題/領域番号 26420298
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関宇都宮大学

研究代表者

依田 秀彦  宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30312862)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード光波長フィルタ / 光デバイス / 透明ヒータ膜
研究成果の概要

次世代光アクセス網の高速大容量技術方式WDM-PONにおけるキーデバイス,チューナブル波長選択フィルタの開発を行った.光学薄膜を利用した2種類のフィルタ(温度制御型TO-BPF、電圧制御型EO-BPF)の作製技術とデバイス性能向上を進め,成果は以下の9項目:①a-Si:D/SiNx TO-BPFによる耐熱性改善 ②TO-BPF成膜後熱処理による波長シフト ③TO-BPFチップのファイバ実装化 ④BPF成膜時の光学モニタ法改良 ⑤中心波長温度係数の高精度測定 ⑥EO-BPF用構成要素の検討 ⑦1キャビティ型EO-BPFの試作 ⑧PLZT薄膜の強誘電性評価 ⑨ITiO近赤外透明導電膜の特性評価

自由記述の分野

光エレクトロニクス

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公開日: 2018-03-22  

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