本研究では、放射光エッチング製作プロセスに基づき、サブミリ波領域(300 GHz~)へ直接応用できるテフロン導波管集積回路技術の確立を目的に、機能回路への発展と集積化(複数回路の一体化)を試みた。 2つのE面方形空胴方向性結合器が接続された構造、E面電力分配器とホーンアンテナ2個の一体構造、十字型カプラと横断回路を組み合わせた4×4バトラーマトリクスを周波数180 GHzで試作・評価した。測定によりこれら回路特性を確認することができ、短ミリ波帯E面およびH面導波管機能回路の集積化が可能であることを明らかにした。
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