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これまでに2μm以上の微粒子を静電気力を利用してフィルムに付着させて除去してきた。微粒子の除去過程を分析した結果，フィルムを微粒子に接触させることが本質的に重要であり，フィルムを試料に押し付ける手段は静電気力によらないことを明らかにした。さらに，0.3～1.5μmの微粒子を除去するため，フィルム押圧手段として，大気圧及び加圧空気を利用する装置を試作した。ポリエチレン（PE）とポリウレタンゴム（PU）で除去試験を実施した結果，PEではフィルムの押付力2.5気圧以上，PUでは0.5気圧で微粒子除去率80％を得ることができた。また，PUにより0.1μm以下の微粒子も除去することができた。
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