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マイクロメカニカルなセンサに基づく、低ノイズかつ、大面積な光カロリメータを開発した。バイメタルセンサの熱変形により、光パワー入力で生じた熱量を検出するもので、その微小な変位量は高分解能な光ファイバファブリペロー干渉計で読み取る。今回、SOIマイクロマシン加工技術で作製したSi-Alの大面積（5 mm角）バイメタルMEMSセンサで、光パワー検出分解能～12nWを実験的に達成できた。開発したバイメタルMEMSセンサは、ジョンソンノイズフリーのため、サーモパイルでは達成できない信号対雑音比を達成できる可能性があり、原理的には、室温・大気圧下で1nWを切る分解能が得られるものである。
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