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本研究では、大気圧非平衡プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜形成技術の開発を念頭に研究を行った。まず大気圧非平衡プラズマを液体に照射させた際のプラズマ液体界面の反応を調べ、プラズマよる水の分解反応よりOHラジカルの生成し、それが酸化に寄与している可能性が示唆された。また酸化亜鉛の製膜形状制御に関する知見を得るために、プラズマに供給されるミストサイズによる製膜形状の影響を調べた。製膜表面を観察したところ半球状の表面構造が確認された。これはプラズマに供給されるミストサイズに依存し、プラズマ中での溶媒の気化速度より生成される粒子形状が変化することを明らかになった。
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