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2016 年度 実績報告書

二次元平面のタイリングに基づく半導体ナノ構造の制御

研究課題

研究課題/領域番号 26420744
研究機関工学院大学

研究代表者

阿相 英孝  工学院大学, 先進工学部, 准教授 (80338277)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワードナノ材料 / 材料加工・処理 / 自己組織化 / 半導体
研究実績の概要

本研究では,二次元平面のタイリングに基づく新規ナノ構造体の構造制御技術を提案・確立し,既存のリソグラフィー技術では作製困難な高次構造体を作製すると共に,得られた構造体を次世代ナノデバイスとして応用展開することを目的として研究を進めてきた。その中でも特に,自発的に形成される化合物半導体ナノ構造の規則性・制御性,それらの制御原理を明らかにすることに重点をおいて研究に取り組んできた。以下に研究期間全体を通じての研究成果の概略を記す。
2014年度,2015年度は,異方性エッチングを利用した半導体ナノ空間の制御に取り組み,Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体であるGaAsを加工対象として,アノードエッチングを用いたポーラスGaAsの作製ならびに結晶異方性エッチングに対するエッチング液(エッチャント)組成,エッチング時間などの影響に関して調査を行った。2016年度は,前年度までに収集した基礎データを基に金属触媒を利用したGaAsの化学エッチング(金属触媒エッチング)に取り組んだ。100 nm周期で規則的に金属触媒を付与したGaAs基板を酸化剤の異なるエッチャント中でエッチングし,酸化剤濃度,温度,エッチング時間が最終的に得られるエッチング形態に強く影響を及ぼすことを明らかにした。また,金属触媒で被覆した化合物半導体の表面積と周辺の未被覆部の面積割合もまた最終的に得られる表面の幾何学構造に影響を及ぼす因子であった。本研究を通じて得られた成果は国内外の学術会議で発表を行った。

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2017 2016 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Gate modulation of anodically etched gallium arsenide nanowire random network2016

    • 著者名/発表者名
      S. Aikawa, K. Yamada, H. Asoh and S. Ono
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 ページ: 06GJ06

    • DOI

      10.7567/JJAP.55.06GJ06

    • 査読あり
  • [学会発表] 金ナノドットを触媒としたGaAsの化学エッチングに対するエッチング条件の影響2017

    • 著者名/発表者名
      今井涼太,橋本英樹,阿相英孝
    • 学会等名
      電気化学会第84回大会
    • 発表場所
      首都大学東京
    • 年月日
      2017-03-25 – 2017-03-25
  • [学会発表] Fabrication of nanostructured semiconductor surfaces using anodic porous alumina and metal-assisted chemical etching2016

    • 著者名/発表者名
      H. Asoh, H. Hashimoto and S. Ono
    • 学会等名
      The 3rd Korea-Japan Joint Symposium for ARS and ESS
    • 発表場所
      Jeju-island, Korea
    • 年月日
      2016-11-26 – 2016-11-26
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 金属触媒エッチングによるGaAsナノピラーの作製2016

    • 著者名/発表者名
      今井涼太,橋本英樹,阿相英孝
    • 学会等名
      日本化学会第6回CSJ化学フェスタ
    • 発表場所
      タワーホール船堀
    • 年月日
      2016-11-16 – 2016-11-16
  • [学会発表] 金ドットアレイを利用したGaAsの金属触媒エッチング2016

    • 著者名/発表者名
      今井涼太,橋本英樹,阿相英孝
    • 学会等名
      表面技術協会第134回講演大会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2016-09-01 – 2016-09-01
  • [備考] 工学院大学先進工学部応用化学科無機表面化学研究室

    • URL

      http://www.ns.kogakuin.ac.jp/~wwb1027/

URL: 

公開日: 2018-01-16  

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