| 研究成果の概要 |
超臨界二酸化炭素を利用した新しい蒸着重合技術の基板構築に取り組んだ。その結果、フッ素系モノマーである2,2-bis(3,4-anhydrodicarboxyphenyl)-hexafluoropropane（6FDA）と2,2’-bis(trifluoromethyl)-4,4’-diaminobiphenyl（TFDB）よりなるフッ素系ポリイミドならびにpyromellitic dianhydride（PMDA）とTFDBの組み合わせであるカプトン系―フッ素系ポリイミドを、モノマー供給濃度を高くすることでSiウエハ上に形成したマイクロスケールのトレンチ内部に充填することができた。
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