研究課題
挑戦的萌芽研究
テラヘルツ電磁波を用いた分光イメージング技術では、解像度の向上が課題である。本研究は、特に物質科学・分子科学・生命科学の分野において求められているナノメータレベルの解像度を目的とした。高精度走査機構と周波数可変テラヘルツ検出器を融合させることで近接場テラヘルツ分光素子を創出した。これにより、微細な半導体試料のテラヘルツ画像・分光解析を可能にした。
エレクトロニクス、計測工学