2015 年度研究成果報告書

ナノギャップの熱物性計測デバイス

研究課題

研究課題/領域番号	26600062
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	ナノマイクロシステム
研究機関	京都大学
研究代表者	土屋智由京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (60378792)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード	ナノギャップ / 熱膨張アクチュエータ / 静電櫛歯アクチュエータ / へき開破壊 / 単結晶シリコン / 熱電子放出 / MEMS
研究成果の概要	数～10数nmの間隔，数μmの非常に狭い空隙すなわちナノギャップの熱伝導，電気伝導特性を測定するためのナノギャップ計測デバイスを提案，試作，評価した．デバイスは熱膨張アクチュエータを駆動して単結晶シリコンの構造にへき開破壊を引き起こし，対となるへき開面によりナノギャップを創製する．デバイスの駆動でナノギャップの創製に成功し，間隔120nmのギャップについて電圧－電流特性を測定した結果，電子放出を確認した．
自由記述の分野	ナノ・マイクロシステム工学