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2015 年度 研究成果報告書

1次元量子構造材料の熱電性能評価法の創成

研究課題

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研究課題/領域番号 26600063
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 ナノマイクロシステム
研究機関大阪大学

研究代表者

筒井 真楠  大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (50546596)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワードマイクロナノセンサー
研究成果の概要

本研究では、ヒータ/温度計組込み型機械的破断接合を用いてサイズ可変ビスマス1次元ナノワイヤーを作製する手法を構築した。ビスマスナノ接合の作製では、ビスマス成膜時にプラズマエッチングに対する保護層として白金層をスパッタ成膜することで、酸素プラズマ処理後においても、フリースタンディングなビスマス接合構造を損傷なく残すことができた。ビスマス接合の電気伝導度測定を行った結果、接合の狭窄過程において引っ張り応力の付加に伴いビスマス原子サイズ接合の原子配列が変化したことに起因する電気伝導度の階段状の変化が観察された。以上のように、ビスマスMCBJ素子の作製及び熱電特性測定法の創成に成功した。

自由記述の分野

ナノテクノロジー

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公開日: 2017-05-10  

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