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2015 年度 研究成果報告書

高品質ダイヤモンドにおける負性電子親和力表面の液中再生プロセスの開発とその応用

研究課題

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研究課題/領域番号 26600085
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 結晶工学
研究機関大阪大学

研究代表者

伊藤 利道  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00183004)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワードCVDダイヤモンド / マイクロ波プラズマCVD / 液中プロセス / 負性電子親和力 / 超音波 / キャビテーション
研究成果の概要

固体表面から電子が取り出しやすくなる負性電子親和力(NEA)状態のダイヤモンド表面を簡便に再生できるプロセスを開発し、それを活用することを目指し、まず、高品質マイクロ波プラズマCVDダイヤモンドNEA表面を一旦正の電子親和力状態にした後、液中で適切に超音波処理した結果、そのプロセスによりNEA表面状態を回復できる可能性を見出した。次に、走査型電子顕微鏡で得られる局所的2次電子信号強度の定量解析に基づいたNEA状態の簡便な半定量評価方法を提案し、その提案方法を適用しダイヤモンドの結晶品質評価ができる可能性を示した。しかし、当該再生プロセスの制御性の向上や機構解明は今後の研究に委ねられた。

自由記述の分野

電気電子材料工学

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公開日: 2017-05-10  

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