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白金ナノ粒子表面の触媒反応で生成しラバールノズルにより形成した高エネルギーH2Oビームのエネルギー状態を解析しノズル構造の最適化を目的に研究を行った結果、以下の結果を得た。
1.H2Oビームのスケーリングパラメータは200以下であり、平均クラスターサイズは1以下と推定された。2.ノズル開口角の異なるラバールノズルを用いてサファイア基板上にZnO結晶膜を成長させたところ開口角によらず結晶配向性にすぐれ、電子移動度の大きな結晶膜が得られた。3.容量結合型MEMS圧力センサーを用いてビームの圧力のノズル開口角依存性を得たが、圧力から換算したH2O分子の運動エネルギーは、予想より約2桁小さい値となった。
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