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2016 年度 研究成果報告書

窒化シリコンメンブレンを用いた力検出器による液中原子間力顕微鏡の飛躍的性能向上

研究課題

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研究課題/領域番号 26600095
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関金沢大学

研究代表者

福間 剛士  金沢大学, 電子情報学系, 教授 (90452094)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード原子間力顕微鏡
研究成果の概要

シールド機構を備えた原子間力顕微鏡(AFM)を開発し、それにより液中AFMの安定性および力分解能を改善した。電子顕微鏡観察用の窒化シリコンメンブレンに集束イオンビームにより微小な穴を設け、そこを通して探針のみを液中に浸漬することを可能とした。また、カンチレバーとメンブレンとの接触を避けるために、カンチレバーに比較的長いクオーツ探針を接着し、さらにその先端に電子線堆積(EBD)カーボン探針を作製した。これらの工夫により、探針のみを浸漬した状態での原子分解能観察を実現し、力分解能を3倍程度改善した。この技術は、気体発生環境下での安定な計測や、電位分布計測技術の定量性改善に有用であると期待される。

自由記述の分野

ナノ計測工学

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公開日: 2018-03-22  

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