研究課題
挑戦的萌芽研究
力センサとして用いるカンチレバーの垂直方向とねじり曲げ方向の同時励振を行い、その周波数や振幅などの信号を同時取得することにより、探針の水平方向に存在するナノ構造体を非接触で検出できる原子間力顕微鏡(AFM)手法を開発した。今後、カンチレバー形状の最適化や同時計測した信号を用いたフィードバック制御方法の確立によって、新規AFM手法の実用性を高めていくことができる。
ナノ計測