研究課題
挑戦的萌芽研究
本研究は、次世代のフォトン検出器である超伝導トンネル接合素子(STJ)の実用化について、コイルの小型化とフォノンノイズ低減を着目した。コイルの小型化は、基板上にコイルを集積し、特にコイルは基板内に埋め込まれた構造を提案した。平坦化を含む埋め込みコイル作製方法の最適化により、そのコイルへの通電及びコイル上のSTJは良好な特性を示した。フォノンノイズについて、コイルとSTJとの間の層間絶縁膜の音響インピーダンスに着目し、Al2O3を用いてSTJの作製に成功した。
超伝導エレクトロニクス