| 研究課題/領域番号 |
26600137
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
矢代 航 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (10401233)
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| 研究分担者 |
北條 大介 東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 助教 (30511919)
加藤 秀実 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (80323096)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| キーワード | Ｘ線 / イメージング / 小角Ｘ線散乱 / 干渉計 / 金属ガラス / ナノ粒子 / 微細加工 / 表面・界面 |
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| 研究実績の概要 |
高分子ソフトマテリアルの研究や、有機デバイス等開発など多くの分野で、軽元素から構成される試料等の内部を高感度で可視化する技術の重要性が近年ますます高まっている。本研究は、Ｘ線回折格子干渉計の技術をさらに発展させて、超高感度のＸ線位相イメージングおよび小角Ｘ線散乱イメージング技術の開発を目指すものである。超高感度化は、光学系の超小型化など、従来にはなかった着想によって実現する。さらにその派生型として、Ｘ線位相エラストグラフィ、GISAXS（Grazing-Incidence Small-Angle X-ray Scattering）イメージング、反復的位相回復法との組み合わせによる超解像実空間イメージングなど、独創的な方法の開発を目指す。
平成28年度は、平成27年度に引き続き、光学系の全長を小さくして超小型回折格子干渉計を実現するための、狭周期回折格子作製プロセスの開発を行った。東北大学金属材料研究所の加藤秀実教授との共同研究の結果、金属ガラス結晶化インプリント技術によって、重元素からなる周期3μm程度の回折格子の作製に成功した。GISAXSイメージングは、通常のGISAXSイメージングにおいて試料をマイクロビームに対して走査するのと異なり、シート状のビームで、実空間分布の定量的イメージングが行えるという利点がある。平成27年度は原理検証に成功したが、平成28年度は、100 nm未満のサイズの構造に起因する小角Ｘ線散乱のコントラストの取得に成功した。
さらに、平成28年度はＸ線位相エラストグラフィの原理検証、アルミニウム陽極酸化プロセスによる高アスペクト比鋳型作製法の新規開発なども行った。
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