2015 年度研究成果報告書

蛍光干渉縞によるsub-10nmアライメント制御技術の創世

研究課題

研究課題/領域番号	26630016
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	東北大学
研究代表者	中川勝東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (10293052)
研究協力者	石戸洋太松原信也菊地英里伊東駿也
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード	生産技術 / アライメント / ナノ加工 / マイクロ・ナノデバイス / ナノインプリント / 蛍光
研究成果の概要	光硬化性蛍光組成物の蛍光発光に着目し、シリコン基板とシリカモールドとの間に光硬化性組成物が配置されたin-liquid状態でのアライメント法の研究を行った。光硬化性組成物がモールドの空隙に充填されると反射光学顕微鏡観察ではモールドと光硬化性組成物の屈折率が近いことによりアライメントが行えないが、蛍光顕微鏡観察ではモールドに特殊な表面加工を施すことなく観察できることを示した。十字マークを基盤としたコースアライメント法、ならびに蛍光干渉縞の発生による精密アライメント法における課題抽出が行えた。
自由記述の分野	生産工学・加工学