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検査面上に照射した集光ビームスポットを，そのスポット分布が重複する形でナノシフト（局在光動的制御）させた際に検出される複数の遠隔場検出光散乱像群に対して，集光ビームスポット強度分布の重みと光学系の点像分布関数を考慮した逆演算を施すことで，通常の遠隔場応用光学的手法では困難な集光ビームスポット内の情報を，回折限界を超越した空間分解能で取得する，といった新しい光学的ナノ欠陥計測法の実現を目指した．理論・実験の両面から解析を行った結果，遠隔場光学系に関わらず回折限界超越を実現するという提案手法の基本コンセプトを実証した．
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