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2015 年度 研究成果報告書

赤外フェムト秒レーザーの非線形吸収によるシリコンの三次元加工への挑戦

研究課題

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研究課題/領域番号 26630023
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関長岡技術科学大学

研究代表者

伊藤 義郎  長岡技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60176378)

研究分担者 田辺 里枝  長岡技術科学大学, 技学研究院機械創造工学, 助教 (70432101)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード赤外フェムト秒レーザー / シリコン / 3D 加工 / 非線形吸収 / 湿式エッチング / レーザー誘起表面周期構造
研究成果の概要

赤外フェムト秒レーザーを、シリコン(Si)基板の内部あるいは裏面に集光することで、Siの三次元加工を実現することを目的とした。赤外顕微鏡に、空間光位相変調器を用いて、精密な収差補正を試みた。厚さ300マイクロメータのSi基板の裏面に集光し、走査加工を行ったところ、加工幅が狭くなり集光度が向上した。操作部には微細な周期構造が形成された。基板表面、すなわちレーザー入射面に対するレーザー照射の影響はなく、裏面でのみ変化が観察され、位置選択的な局所加工が実現した。加工効率を上げるためにKOH水溶液を用いた湿式エッチングを試みた。2マイクロメータ以上の加工溝深さがえられ加工速度が大きく向上した。

自由記述の分野

レーザー加工

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公開日: 2017-05-10  

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