研究課題
挑戦的萌芽研究
本研究では，白金（Pt）触媒または酸化チタン（TiO2）光触媒を被覆した原子間力顕微鏡（AFM）プローブを加工用ツールとし，探針先端の極近傍のみに化学反応を局在化することで，ナノメートルレベルの除去加工を行う新規なナノ化学加工技術を開発した．Pt触媒AFMプローブを用いた純水中での単結晶Siのナノ化学加工（エッチング），TiO2光触媒AFMプローブを用いた生体分子（DNA）のパターニング（局所光分解反応）および細胞のナノ化学加工技術（細胞膜穿孔）としての有効性を実証した．
MEMS，マイクロ・ナノマシニング
