2014 年度研究成果報告書

ナノ積層DLC被膜によるフリクションフリー表面の生成

研究課題

研究課題/領域番号	26630033
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関	東京大学
研究代表者	加藤孝久東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60152716)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2015-03-31
キーワード	トライボロジー / ダイヤモンドライクカーボン / 積層膜 / フリクションフリー / フリクションフェイドアウト / イオン化蒸着法
研究成果の概要	DLC内の (sp2結合量)/(sp3結合量) の比率が水素含有量で制御できることを利用して，ナノ積層膜を生成し，これによって摩擦係数が10-4オーダーのフリクションフリーシステムを構築することを目的として研究を行った．イオン化蒸着法で成膜し，sp2結合がリッチなPLC膜およびsp3結合がリッチなDLC膜をそれぞれ7.7nmおよび7.0nmの厚さで30層ずつ交互に成膜した.摩擦試験の結果，摩擦係数が10-4レベルの摩擦フェイドアウト(Friction Fade Out, FFO)を得ることができた。
自由記述の分野	トライボロジー