2015 年度研究成果報告書

マイクロ駆動機構付きプローブによる高精度すきま制御型摩擦力顕微鏡

研究課題

研究課題/領域番号	26630039
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関	名古屋大学
研究代表者	福澤健二名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60324448)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード	摩擦力顕微鏡 / トライボロジー / 走査型プローブ顕微鏡 / ナノトライボロジー / マイクロマシン
研究成果の概要	微細加工技術の進展に伴い，極小しゅう動すきまを介した機械要素間の潤滑技術が求められている．微小すきまの潤滑現象の解明に必須な，すきまを精密に規定して摩擦力および荷重を測定する方法の確立を目的として，従来の荷重制御型の摩擦力顕微鏡ではなく，すきま制御型の摩擦力顕微鏡の確立を試みた．プローブに駆動機構を付与するという新規な着想に基づき，高精度すきま制御可能な摩擦力顕微鏡を提案し，原理確認に成功した．
自由記述の分野	マイクロナノ計測工学