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2015 年度 実績報告書

電磁カップリングを用いたワイヤレスMEMS温度センサの開発

研究課題

研究課題/領域番号 26630060
研究機関東京大学

研究代表者

鈴木 雄二  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80222066)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード燃焼 / 温度計測 / MEMS / 電磁カップリング
研究実績の概要

閉空間内での燃焼場では,伝播した火炎が壁面と接触することで固体壁面と干渉を起こすため,壁面の温度計測は非常に重要である.本研究では,光学的なアクセスが不要な非接触温度計測法として,電磁カップリングを用いたワイヤレス温度センサの開発を行った.
最終年度は,高時空間分解能を有するワイヤレス温度センサの試作と,非定常温度場におけるセンサの性能評価を行った.ポリイミドのプリント基板プロセスとMEMS技術を組み合わせることにより,可撓性を有し,1 mm以下の温度測定部を持つワイヤレス温度センサを試作した.周波数を掃引して複素インピーダンスの位相角をネットワークアナライザで取得し,解析解にフィティングすることによって共振周波数を算出し,温度を推定する手法を確立した.そして,周波数掃引点数,IFBWを最適化することによって,2.48 msの平均測定時間間隔と±6.4 ℃の計測の不確かさ(95%包括度)を実現した.さらに,常温から230 ℃まで変化する非定常温度測定に適用してその有効性を示した.
また,さらなる高性能化のため,等価回路モデルに基づいた温度変化に対する感度解析を行った.センサの基板材料として誘電率の温度変化が小さい液晶ポリマを,白金の2倍に相当する温度係数を持つニッケル薄膜を抵抗体として用い,さらに測定パラメータを最適化することによって,1 msの測定時間間隔と±5 ℃の計測の不確かさ(95%包括度)が得られると見積もられる.
以上のことから,新しい非接触温度計測法として,電磁カップリングを用いたワイヤレス温度センサを提案し,その特性の評価から,その有効性が明らかになった.

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2016 2015

すべて 学会発表 (5件) (うち国際学会 2件)

  • [学会発表] 高感度のワイヤレス温度センサを用いた燃焼場の壁温計測2016

    • 著者名/発表者名
      李 敏赫,森本 賢一,鈴木 雄二
    • 学会等名
      第53回日本伝熱シンポジウム
    • 発表場所
      大阪国際会議場(大阪府大阪市)
    • 年月日
      2016-05-24 – 2016-05-26
  • [学会発表] Flexible Wireless Wall Temperature Sensor for Unsteady Thermal Field2015

    • 著者名/発表者名
      Lee, M., Morimoto, K., and Suzuki, Y.,
    • 学会等名
      15th Int. Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2015)
    • 発表場所
      ボストン(米国)
    • 年月日
      2015-12-02 – 2015-12-04
    • 国際学会
  • [学会発表] ワイヤレス温度センサを用いた非定常場における壁面温度計測2015

    • 著者名/発表者名
      李 敏赫,森本 賢一,鈴木 雄二
    • 学会等名
      第53回燃焼シンポジウム
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県つくば市)
    • 年月日
      2015-11-16 – 2015-11-18
  • [学会発表] Evaluation of Non-contact Wall Temperature Measurement Using MEMS Wireless Sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Lee, M., Morimoto, K., and Suzuki, Y.,
    • 学会等名
      SAE Technical Paper
    • 発表場所
      国立京都国際会館(京都府京都市)
    • 年月日
      2015-09-01 – 2015-09-04
    • 国際学会
  • [学会発表] ポリイミド基板を用いた可撓性を有するワイヤレス温度センサの開発2015

    • 著者名/発表者名
      李 敏赫,森本 賢一,鈴木 雄二
    • 学会等名
      第52回日本伝熱シンポジウム
    • 発表場所
      福岡国際会議場(福岡県福岡市)
    • 年月日
      2015-06-03 – 2015-06-05

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公開日: 2017-01-06  

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