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2014 年度 実施状況報告書

大型構造物を対象としたコムセルフビート距離計を用いた粗面の三次元絶対形状測定

研究課題

研究課題/領域番号 26630087
研究機関東京大学

研究代表者

高増 潔  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70154896)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワードコムレーザー / 距離測定 / 粗面 / 三次元測定 / 大型構造物
研究実績の概要

コムセルフビート距離計の概念設計および基礎実験を中心に行った.まず,基本技術および問題点を抽出った.また,研究協力者として企業からの意見を聞き,生産環境のニーズや概念設計に必要とされる条件(測定精度,測定範囲,測定時間,コスト)を検討した.コムセルフビート距離計は高速(数kHz 以上)に絶対距離(10 m までの距離を 1 μm の分解能で計測)の測定が可能であり,空気ゆらぎの影響を受けにくい.しかし,セルフビートは高周波数のため,位相差計測のためにはビートダウンが必要である.このビートダウンの方法が,高精度化には不可欠となる.
本年度は,二種類のコムレーザを利用することで,ビートダウンを高精度化するための実験を行った.また,実際のシステムを運用するためには,システムの三次元絶対位置の校正がキーポイントとなる.すでに,三次元座標計測システムの校正に関して多くの研究を行っているため,これらの成果を利用し,システムの校正および精度評価のシミュレーションを行った.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

目的に対して,本年度の研究は以下の2つの点に絞って行った.まず,概念設計として,コムセルフビート距離計の基本的な構成を検討し,そのフィジビリティ(測定精度,測定時間,コスト,環境)の検証を行った.既存のフェムト秒レーザを用いて,基本実験を行い,二種類のコムレーザを利用することで,ビートダウンを高精度化するための実験を行い,概念設計の検証を行えた.
つぎに,システムの三次元絶対位置の校正のための検討を行い,システムの校正および精度評価のシミュレーションを行った.
これらの成果により,概念設計およびフィジビリティの評価を行うことができた.

今後の研究の推進方策

平成26年度の基礎実験を踏まえて,問題点の解決と三次元化の基礎実験を行う.問題点としては,ビートダウンにおける基準周波数の位相雑音による位相差計測精度の低下があげられる.これについては,二種類のコムレーザを使う.周波数発振器とコムレーザの位相雑音を比較すると,コムレーザの位相雑音が非常に小さいことが分かっている.
次に,スキャナーを利用して三次元絶対形状計測の方法を検討する.さらに,市販の三次元スキャナーと組み合わせることで,三次元スキャナーを校正することや,その高速性を生かして複合的なシステムを構築することができる.システム全体およびスキャナーの校正については,自己校正を用いた方法が有力である.この手法を適用することで,三次元空間の絶対的な計測を高精度で行うことが可能となる.

  • 研究成果

    (12件)

すべて 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (5件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Verification of the positioning accuracy of industrial coordinate measuring machine using optical-comb pulsed interferometer with a rough metal ball targetOriginal Research Article2015

    • 著者名/発表者名
      Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Precision Engineering 41

      巻: 41 ページ: 63-67

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2015.01.007

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Profile measurement of aspheric surfaces using scanning deflectometry and rotating autocollimator with wide measuring range2014

    • 著者名/発表者名
      Kyohei Ishikawa, Tomohiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology 25 (6)

      巻: 25 (6) ページ: 064008 1-7

    • DOI

      10.1088/0957-0233/25/6/064008

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Performance evaluation of a coordinate measuring machine’s axis using a high-frequency repetition mode of a mode-locked fiber laser2014

    • 著者名/発表者名
      Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 15 (8)

      巻: 15 (8) ページ: 1507-1512

    • DOI

      10.1007/s12541-014-0498-3

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Length Traceability using Optical Frequency Comb2014

    • 著者名/発表者名
      Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 625

      巻: 625 ページ: 322-325

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/KEM.625.322

    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-accuracy calibration of CMM using temporal-coherence fiber interferometer with fast-repetition comb laser2014

    • 著者名/発表者名
      Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 625

      巻: 625 ページ: 66-72

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/KEM.625.66

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Two-color absolute length measuring method based on pulse repetition interval lengths2014

    • 著者名/発表者名
      Dong Wei, Masato Aketagawa, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Optical Engineering 53 (12)

      巻: 52 (12) ページ: 122413 1-5

    • DOI

      10.1117/1.OE.53.12.122413

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Distance Measurement Using Temporal-Coherence Interferometer with Optical Frequency Comb and Fiber Etalons2014

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      Conference Paper Frontiers in Optics
    • 発表場所
      Tucson, USA
    • 年月日
      2014-10-19 – 2014-10-23
  • [学会発表] Absolute Length-Measuring System by Automatic Interference-Fringe-Peak Detection with Optical-Comb Fiber Interferometer2014

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      LMPMI2014 (11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry)
    • 発表場所
      EPOCHAL Tsukuba, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2014-09-02 – 2014-09-05
  • [学会発表] Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical Comb2014

    • 著者名/発表者名
      Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      LMPMI2014 (11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry)
    • 発表場所
      EPOCHAL Tsukuba, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2014-09-02 – 2014-09-05
  • [学会発表] Nanometer Profile Measurement of Aspheric Surface Using Scanning Deflectometry and Rotating Autocollimator: Self-Calibration Method of Autocollimator2014

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Kyohei Ishikawa, Tomihiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      Proceeding of ASPE/ASPEN Summer Topical Meeting
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 年月日
      2014-06-26 – 2014-06-27
  • [学会発表] Precision measurement technique for rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb2014

    • 著者名/発表者名
      Taro Onoe, Zongluo Yang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      Proceedings of the 14th euspen International Conference
    • 発表場所
      Dubrovnik, Croatia
    • 年月日
      2014-06-02 – 2014-06-05
  • [備考] Takamasu - Takahashi Lab

    • URL

      www.nanolob.t.u-tokyo.ac.jp

URL: 

公開日: 2016-05-27  

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