2015 年度研究成果報告書

大型構造物を対象としたコムセルフビート距離計を用いた粗面の三次元絶対形状測定

研究課題

研究課題/領域番号	26630087
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京大学
研究代表者	高増潔東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70154896)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード	コムレーザー / 距離測定 / 粗面 / 三次元測定 / 大型構造物
研究成果の概要	コムレーザのセルフビート信号を用いて，粗面までの絶対距離計測の手法を提案した．2台のコムレーザによりセルフビート信号をビートダウンすることで，サイクリックエラーなしに位相信号を所得することができた．表面粗さ10 µm以上の円筒形状の粗面の絶対形状測定を，3 mの距離から測定波長83 mmで数十マイクロメートルの精度で行えた．さらに，セルフビートの2つの周波数（3.5 GHzおよび3.6 GHz）を用いることで，合致法により測定波長以上の絶対距離測定が可能であった．
自由記述の分野	精密測定