| 研究課題/領域番号 |
26630335
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
複合材料・表界面工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
節原 裕一 大阪大学, 接合科学研究所, 教授 (80236108)
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| 連携研究者 |
内田 儀一郎 大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 (90422435)
竹中 弘祐 大阪大学, 接合科学研究所, 助教 (60432423)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| キーワード | プラズマ加工 / 反応性プラズマＰＶＤ製膜プロセス / 反応性制御 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、反応性スパッタ製膜におけるターゲット利用の高効率化と高速化に向けて、独自の高密度プラズマ生成・制御技術により克服したPVD製膜法の高度化を目的とし、スパッタ放電の解明・制御とプラズマ支援スパッタ製膜系の高度制御に主眼を置いて研究を行った。その結果、高周波誘導結合放電を重畳することでターゲット利用効率の向上と製膜プロセスの高速化に資すると共に、高周波誘導結合放電による気相の反応性制御が製膜プロセスの高品質化に有効であることが示され、新たな製膜技術としての発展が期待される。
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| 自由記述の分野 |
プラズマ理工学
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