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2015 年度 実績報告書

マスクレス真空蒸着による高分子表面への微細金属パターン形成

研究課題

研究課題/領域番号 26630349
研究機関大阪教育大学

研究代表者

辻岡 強  大阪教育大学, 教育学部, 教授 (30346225)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード真空蒸着 / 表面 / 高分子 / 金属パターニング / ガラス転移点 / 有機溶媒
研究実績の概要

本研究は高分子表面にマスクレス真空蒸着によって、微細な金属パターンを形成する技術の開発を目的としている。従来はこのような金属パターンを形成するには、シャドウマスクを用いた真空蒸着が用いられていたが、本研究ではこれまで行ってきた低ガラス転移点(Tg)有機表面での金属原子離脱現象を拡張し、比較的高いTgを有する単一の高分子表面でも、所望の微細な金属パターンをマスクレス蒸着で形成可能にするものである。
昨年度は代表的高分子材料であるポリスチレンや高分子半導体であるMEH-PPV膜に対して、溶媒印刷と蒸発により表面高分子鎖の運動を活発化させることで、Mg、Pb、Mnなどの金属蒸気の非堆積現象を確認することができた。この研究結果を基に、今年度はこの原理に基づくこれらの金属種のマスクレス蒸着におけるパターン形成の解像度限界を調べた。
解像度限界を調べるには微細な溶媒印刷を行う必要がありインクジェット法が最適ではあるが、実験装置上の困難があるため代わりに溶媒ミスト法を用いた。これはスプレー法で微細な溶媒のミストを形成し、高分子表面に落下させて微細な溶媒塗布スポットを作る方法である。その後に、高分子膜上に金属のマスクレス蒸着を行い、金属の非堆積パターンを観察するのである。
有機半導体高分子材料であるMEH-PPVとP3HTの膜に、クロロホルム、トルエン、シクロヘキサノンをそれぞれ溶媒ミスト法で噴霧し、Mgをマスクレス蒸着して得られた金属パターンを観察した。その結果、数ミクロンから数十ミクロンのMg非堆積領域が確認された。特に高分子に対する貧溶媒でもこの現象が生じた。これは、この溶媒印刷+マスクレス金属蒸着によって、数ミクロンレベルの金属パターンが形成可能であることを示している。以上の結果は、高分子エレクトロニクス分野における微細電極パターン形成への応用が期待できる。

  • 研究成果

    (22件)

すべて 2016 2015 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (18件) (うち国際学会 6件、 招待講演 3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Selective Metal-vapor Deposition on Organic Surfaces2016

    • 著者名/発表者名
      T. Tsujioka
    • 雑誌名

      The Chemical Record

      巻: 26 ページ: 231-248

    • DOI

      10.1002/tcr.201500235

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Selective metal-vapor deposition on solvent evaporated polymer surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      K. Yamaguchi, T. Tsujioka
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 597 ページ: 220-225

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.11.062

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] In-plane Electrical Bistability of Photochromic Diarylethene/Cu Composite Film2015

    • 著者名/発表者名
      T. Tsujioka, M. Nobunaga, M. Dohi
    • 雑誌名

      Organic Electronics

      巻: 26 ページ: 144-150

    • DOI

      10.1016/j.orgel.2015.07.039

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Selective metal vapor deposition on photochromic diarylethene surface -dependence on metal species-2016

    • 著者名/発表者名
      Saki Matsumoto、Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      日本化学会第96春季年会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都)
    • 年月日
      2016-03-24 – 2016-03-27
  • [学会発表] Mg-vapor deposition modulation on photochromic diarylethene crystal surface2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamoto, Ying Lin, Kingo Uchida, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      日本化学会第96春季年会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都)
    • 年月日
      2016-03-24 – 2016-03-27
  • [学会発表] ジアリールエテン上における金属蒸着選択性の金属種依存性2016

    • 著者名/発表者名
      松本彩希、辻岡強
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] 低Tg高分子表面からの金属原子離脱現象を利用した希少金属の集積蒸着2016

    • 著者名/発表者名
      王陸、辻岡強
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] ジアリールエテンのキャリア注入異性化の素過程の研究2016

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、辻岡強
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] フォトクロミック膜における金属蒸着選択性の一般モデル2015

    • 著者名/発表者名
      松本彩希、辻岡強
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部平成27年度第2回講演会
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター(大阪)
    • 年月日
      2015-09-30
  • [学会発表] ジアリールエテン結晶表面におけるMg蒸着変調特性2015

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、林頴、内田欣吾、辻岡強
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2016-09-15
  • [学会発表] フォトクロミック・ジアリールエテン表面におけるInの蒸着特異性2015

    • 著者名/発表者名
      松本彩希、辻岡強
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2016-09-15
  • [学会発表] ジアリールエテン結晶表面におけるMg蒸着性変調現象の原因解明2015

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、林頴、内田欣吾、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪)
    • 年月日
      2015-09-09 – 2015-09-11
  • [学会発表] アモルファス・ジアリールエテン表面におけるInの蒸着特性2015

    • 著者名/発表者名
      松本彩希、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪)
    • 年月日
      2015-09-09 – 2015-09-11
  • [学会発表] ジアリールエテン膜への静電的キャリア注入による異性化反応2015

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪)
    • 年月日
      2015-09-09 – 2015-09-11
  • [学会発表] ジアリールエテン針状結晶の電流・電圧特性2015

    • 著者名/発表者名
      宮田勝登志、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪)
    • 年月日
      2015-09-09 – 2015-09-11
  • [学会発表] Isomerization of Diarylethene Molecules via an Ionic State by Electrostatic Carrier Injection2015

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamoto, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      The 7th East Asia Symposium on Functional Dyes and Advanced Materials
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2015-09-02 – 2015-09-04
    • 国際学会
  • [学会発表] Indium-Vapor Deposition Modulation on an Amorphous Photochromic Diarylethene Surface2015

    • 著者名/発表者名
      Saki Matsumoto, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      The 7th East Asia Symposium on Functional Dyes and Advanced Materials
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2015-09-02 – 2015-09-04
    • 国際学会
  • [学会発表] Isomerization Structure of Diarylethene Film induced by Electrical Carrier Injection2015

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamoto, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      The 7th East Asia Symposium on Functional Dyes and Advanced Materials
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2015-09-02 – 2015-09-04
    • 国際学会
  • [学会発表] Selective Metal Deposition on Photochromic Surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      The 7th East Asia Symposium on Functional Dyes and Advanced Materials
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2015-09-02 – 2015-09-04
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Novel Metal Patterning Method using Vacuum Evaporation on Organic Surfaces for Electronics/Photonics Applications2015

    • 著者名/発表者名
      Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D & Materials Reseach
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2015-06-15 – 2015-06-19
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Selective Metal Deposition on Organic Surfaces for Organic Electronics/Photonics2015

    • 著者名/発表者名
      Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      EMN-EAST meeting (Energy, Materials, and Nanotechnology)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2015-04-20 – 2015-04-23
    • 国際学会 / 招待講演
  • [備考] 大阪教育大学分子ナノ光学研究室

    • URL

      http://www.osaka-kyoiku.ac.jp/~tsujioka/nanooptics.htm

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公開日: 2017-01-06  

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