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ミスト法は、超音波により霧化した液体を用いて製膜を行う低コストかつ低エネルギーな手法である。本研究では、結晶性のナノ粒子を含む溶液のミスト堆積によって、低温での結晶性薄膜の形成を行い、微細表面テキスチャの形成とその電気的および光学的な特性に関する検討を行った。TiO2ナノ結晶粒子のミスト堆積においては、レーザー描画で形成した親水ー疎水微細パターン基板を用た表面テキスチャ制御法を開拓した。さらに、ミスト堆積法によるTiO2/PEDOT・PSS ハイブリッド薄膜や酸化グラフェン薄膜の形成とそれらの特性に関する検討を行った。
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