2016 年度研究成果報告書

自己組織化的整合成長による非平衡結晶構造薄膜の創製

研究課題

研究課題/領域番号	26630362
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	材料加工・組織制御工学
研究機関	富山大学
研究代表者	松田健二富山大学, 大学院理工学研究部(工学), 教授 (00209553)
研究期間 (年度)	2014-04-01 – 2017-03-31
キーワード	TiON膜 / TiO2 / 単斜晶 / ルチル型TiO2 / 光吸収スペクトル
研究成果の概要	左右の雰囲気をほぼ独立して制御できる差動型同時成膜装置を用い，金属窒化物膜を下地膜とし，その上に金属窒酸化物膜を成膜し下層との整合成長により，非平衡結晶構造を有する新しい膜の組織制御を試みた。AlN/AlON積層膜においては，窒素分圧0.04Pa以上で上層にAl6O3N4膜が形成された。下層のAlNは成長方向とC軸がほぼ平行であったのに対して，上層のAlON膜のC軸はそれらに対してほぼ垂直となることがわかった。他方，TiON単層膜でも新しい相 (TiO0.34N0.74) を含む混合相が得られたが，TiN/TiON積層膜については，TiN膜下地からの整合成長を利用した組織制御はできなかった。
自由記述の分野	材料組織制御工学